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二次離子質(zhì)譜（SIMS） | 離子 | 二次離子 | 元素確定，表面元素分布 |
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掃描電子顯微分析（SEM） | 電子 | 二次電子，背散射電子 | 表面形貌，晶體缺陷，電位分布， |
X射線能譜分析（EDS） | 電子 | 特征X射線 | 元素分析及元素分布 |
俄歇電子能譜（AES） | 電子 | 俄歇電子 | 表面元素確定和元素深度分布 |
聚焦離子束（FIB） | 離子 | 二次離子 | 截面加工和觀察 |
透射電子顯微技術(shù)（TEM） | 電子 | 電子 | 截面形貌觀察，晶格結(jié)構(gòu)分析 |
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